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    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    Pfeiffer 普发多级罗茨泵
    阅读数: 144

    Pfeiffer 普发多级罗茨泵

    Pfeiffer 普发多级罗茨泵(干式真空泵)
    上海伯东 Pfeiffer 普发多级罗茨泵 (干式真空泵) 为各种应用提供清洁和干燥的真空环境!提供适合清洁制程应用的 ACP 系列多级罗茨泵和 A 100L, ACG 600 G, ACP 120 G 干泵, 适合普通制程应用的 A3P 系列和适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
    、适合清洁制程应用的干泵
    气冷型多级罗茨泵 ACP 15, ACP 28, ACP 40 很少需要保养, 适用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程.

    型号

    接口尺寸 DN

    极限真空度 mbar

    抽速

    最大漏率

    重量

    有气镇阀

    无气镇阀

    m3/h

    mbar l/s

    kg

    ACP 15 SD
    ACP 15 G

    25

    0.1

    3.10-2

    14

    < 5.10-7

    23

    ACP 28 SD
    ACP 28 G
    ACP 28 CV
    ACP 28 CP
    ACP 28 SH

    25

    0.1

    3.10-2

    27

    < 5.10-7

    30

    ACP 40 SD
    ACP 40 G
    ACP 40 CV
    ACP 40 CP
    ACP 40 SH

    40

    0.1

    3.10-2

    37

    < 5.10-7

    32

    SD: 标准版本, 适用于要求清洁无尘且无腐蚀性气体的应用设. 标准泵配有气镇阀, 可以改善小分子气体的抽气能力并避免泵内部冷凝. 三种气镇可选,满足不同应用
    G: 抗腐蚀版本, 适用于微量腐蚀性气体, 三个吹扫气体喷嘴可?;さ脱购透哐怪岢? 并稀释一定量的腐蚀性气体.
    CV: 耐水汽版本, 适用于抽气环境含有水汽的应用, 纯水蒸汽容量扩展至 1,000 g/h
    SH: 无氟版本
    CP: 气体回收版本, 通入气体必须是清洁,  无尘, 无腐蚀性的气体

    紧凑型多级罗茨泵 A 100 L , 用于洁净制程的整体式干泵

    型号

    进气口尺寸 DN

    极限压力 hPa

    抽速

    噪音比

    重量

    m3/h

    dB (A)

    kg

    A 100 L

    50

    6.6 X 10-3

    100

    58

    100

    A 100L ES

    50

    7 X 10-4

    100

    55

    100

    A 200 L

    50

    8 X 10-3

    200

    58

    100

    L: 标准版本    ES: 节能版本

    适合工业用途的干泵, ACG 600 G, ACP 120 G, 具有高抽速和低极限压力多级罗茨泵 ACP 120 泵可用于冷冻干燥应用

    型号

    连接尺寸

    DN

    吹扫流为50 SL/mn

    极限压强

    抽速

    噪音比

    重量

    Mbar

    m3/h

    dBA

    kg

    ACP 120

    50

    NA

    95

    < 65

    205

    ACP 120 G

    50

    3E-2

    95

    < 65

    205

    ACG 600 G

    100

    6 X 10-3

    480

    68

    320

    二、适合普通制程应用的 A3P 系列, 适用于针对中型工艺的高能效先进技术
    具有三款型号可选, 由于产品极大地降低了运营成本, 使其在市场中脱颖而出. 与以往真空泵技术相比, 最高节约能耗可达 50%, 在工艺适应性方面, 该系列真空泵结合了最先进的技术.此外, 由于产品的结构设计紧凑, 使其与传统的真空泵相比, 可节约高达50%的空间.

    三、适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
     

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