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    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    射频离子源 RFICP 380
    阅读数: 1975

    射频离子源 RFICP 380

    美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 特性:
    1. 放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长.
       2kW & 1.8 MHz, 射频自动匹配
    2. 离子源结构??榛杓?br /> 3. 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行
    4. 栅极材质钼和石墨,坚固耐用
    5. 中和器 Neutralizer, 测量和控制电子发射,确保电荷中性
    6. 通气 Ar, O2, N2, others
    7. 离子束流: 电流: > 500毫安, 能量 100-1200eV
    考夫曼离子源 RFICP 380 技术参数

    型号

    RFICP 380

    放电腔 Discharge

    射频

    最大功率

    >1kW

    最大离子束电流

    >1000mA

    电压

    100-1500V

    气体

    惰性和活性

    流量

    5-50sccm

    真空度

    < 0.5mTorr

    离子光学(自适应)

    OptiBeamTM

    离子束直径@ grids

    38cm Φ (maximum)

    栅极材质

    离子束形状

    平行. 聚焦, 发散

    中和器

    LFN 2000

    高度

    15” (38.1cm)

    直径

    22.9” (58.2cm)

    Feedthrough direct

    12”CF

    1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源 Gridded 和霍尔离子源 Gridless. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射沉积 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源 (离子枪) 中国总代理. 

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