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    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    Thermonics 超低温冰水机
    阅读数: 4148

    Thermonics 超低温冰水机

    Thermonics 超低温冰水机
    上海伯东美国 inTEST 旗下 Thermonics® 超低温冰水机, 可以匹配各种热交换液体媒介, 提供低温极限 -80°C, -60°C, -40°C 共计 18种标准机型, 低温冰水机单级压缩机, 级联冷却, 冷凝器水冷或风冷; 可编程的触摸屏, 支持远程通讯. 低温冰水机方便移动操作, 满足高容量的制冷需求, 适用于汽车, 能源, 工业化学, 半导体等行业.

    Thermonics 超低温冰水机: 精密温度控制, 适用于半导体前端和后端的应用, 例如半导体刻蚀设备降温
    . 最高冷却功率 15 kW
    . 温度范围:  -80 至 200 °C
    . 适合各种热交换流体
    . 风冷和水冷模式
    . 导热流体压力和流量控制
    . ISO 9001 和 ITAR 认证
    . 可编程的触摸屏
    低温工艺流体冰水机
    Thermonics 超低温冰水机, 风冷型

    型号

    温度范围
    °C

    精度
    °C

    冷却能力 kW @ 20°C 供水

    泵抽速
    l/min

    资料下载

    25

    0

    -20

    -40

    -45

    -60

    -70

    -80

    A-40-1100

    -40 至 +50

    ±0.5

    6.6

    6.6

    4.0

    1.1

    0.5

    -

    -

    -

    15

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    A-40-1900

    -40 至 +50

    ±0.5

    9.5

    9.5

    5.4

    1.9

    0.7

    -

    -

    -

    23

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    A-40-2700

    -40 至 +50

    ±0.5

    14.5

    14.5

    9.6

    2.7

    1.2

    -

    -

    -

    38

    下载 PDF

    A-60-2700

    -60 至 +50

    ±0.5

    3.9

    3.9

    3.6

    3.1

    3.0

    2.7

    -

    -

    11

    下载 PDF

    A-60-3000

    -60 至 +50

    ±0.5

    4.6

    4.6

    3.7

    3.5

    3.4

    3.0

    -

    -

    23

    下载 PDF

    A-60-4600

    -60 至 +50

    ±0.5

    6.7

    6.7

    6.1

    5.3

    5.1

    4.6

    -

    -

    30

    下载 PDF

    A-80-500

    -80 至 +50

    ±0.5

    2.3

    2.3

    2.2

    2.1

    2.0

    1.8

    1.5

    0.5

    11

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    A-80-1700

    -80 至 +50

    ±0.5

    3.4

    3.5

    3.1

    2.8

    2.7

    2.3

    2.1

    1.7

    23

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    A-80-2400

    -80 至 +50

    ±0.5

    5.0

    5.1

    4.5

    3.9

    3.8

    3.3

    3.1

    2.4

    30

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    Thermonics 超低温冰水机, 水冷型

    型号

    温度范围
    °C

    精度
    °C

    冷却能力 kW @ 20°C 供水

    泵抽速
    l/min

    资料下载

    25

    0

    -20

    -40

    -45

    -60

    -70

    -80

    W-40-1100

    -40 至 +50

    ±0.5

    8.0

    8.0

    4.6

    1.1

    0.6

    -

    -

    -

    15

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    W-40-2000

    -40 至 +50

    ±0.5

    10.0

    10.0

    6.0

    2.0

    1.0

    -

    -

    -

    23

    下载 PDF

    W-40-3100

    -40 至 +50

    ±0.5

    15.5

    15.5

    10.0

    3.1

    1.4

    -

    -

    -

    38

    下载 PDF

    W-60-2800

    -60 至 +50

    ±0.5

    4.0

    4.0

    3.7

    3.2

    3.1

    2.8

    -

    -

    11

    下载 PDF

    W-60-3100

    -60 至 +50

    ±0.5

    4.7

    4.7

    4.3

    3.7

    3.6

    3.1

    1.1

    -

    23

    下载 PDF

    W-60-4700

    -60 至 +50

    ±0.5

    6.8

    6.8

    6.2

    5.4

    5.2

    4.7

    4.0

    -

    30

    下载 PDF

    W-80-600

    -80 至 +50

    ±0.5

    2.5

    2.5

    2.3

    2.1

    2.0

    1.8

    1.6

    0.6

    11

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    W-80-1800

    -80 至 +50

    ±0.5

    3.5

    3.5

    3.2

    2.9

    2.8

    2.4

    2.2

    1.8

    23

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    W-80-2500

    -80 至 +50

    ±0.5

    5.1

    5.1

    4.5

    4.0

    3.9

    3.4

    3.2

    2.5

    30

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    * 所有水冷和风冷型号液体压力是 50 PSIG 或更少
    * -40 和-60°C 的低温性能使用 Syltherm XLT 热传导液. -80°C 的性能使用 hfe - 7100 热传导液
    * 如果需要使用其他类型热传导液或流速, 请联络上海伯东

    Thermonics 超低温冰水机典型应用
    1. 半导体行业: 在离子注入机中冷却硅片夹
    2. 燃料电池能源: 低温冷却进入储罐的废气, 从废气中冷凝和分离二氧化碳
    3. 科研领域: 在一个压力容器中, 加热和冷却铜块

    Thermonics® 制冷机主要应用于能源, 化学工艺, 工业和半导体制造, 例如如下:

    制冷机类型

    冷却方式

    Max.Capacity

    温度范围

    导热介质

    应用市场

    传导液制冷
    双极

    水冷

    5kW @ -20°C

    -40 至 25°C    

    Syltherm XLT

    化学

    传导液制冷
    单极

    水冷

    2.5kW @ -60°C

    -60 至 25°C

    Syltherm XLT

    化学

    传导液制冷
    单极

    风冷

    270W @ -50°C

    -50 至 120°C

    HFE-7500   

    半导体

    传导液制冷
    双极

    风冷

    300W @ -80°C

    -80 至 200°C

    Syltherm XLT

    国防

    传导液制冷
    双极

    风冷

    3KW @ -60°C

    -60 至 20°C

    KRYO 60 

    能源

    气体制冷
    自然复叠

    风冷

    -100 °C @ 8 scfm

    -100 °C至空气

    清洁,干燥空气

    工业

    传导液制冷
    双极

    水冷

    2.2KW @ 20°C

    -50 至 40 °C

    HFE-7500

    半导体

    传导液制冷
    单极

    水冷

    12KW @ 15°C

    -15 至 20 °C

    PGW (25%)

    半导体

    气体制冷
    自然复叠

    风冷

    -90°C @ 18scfm

    -90 至 225 °C

    清洁,干燥空气

    汽车

    传导液制冷
    单极

    风冷

    1.5 KW @ -30 °C

    -40 至 50 °C

    Syltherm XLT

    工业

    传导液制冷
    双极

    水冷

    3.3KW @ -50°C

    -50 至 20 °C

    Syltherm HF

    汽车


    Thermonics 低温冰水机原理:
    冰水机 chiller
     

    Thermonics 超低温冰水机在半导体行业中的应用
    前端 Front End
    离子注入 Ion Implant
    蚀刻设备 Etch: 降温晶圆,
    沉积设备 Deposition
    后端 Back End
    各种测试处理 Final Test Handlers:
    举例: Thermonics 冰水机将制冷液体泵入测试设备进行半导体器件的冷态测试, Thermonics 冰水机可与各类半导体测试设备联用.

    美国 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低温冰水机和 -120°C 超低温冰水机用于冷却工艺过程中的气体和液体. 型号包含低温液体冰水机, 超低温气体冰水机超低温液氮, 液态二氧化碳制冷机. Thermonics 低温冰水机可选水冷或气冷, 并与各种导热液体兼容. 满足各种超低温工艺冷却需求, 广泛应用于化学, 能源, 半导体, 汽车等领域. 上海伯东是美国 Thermonics 超低温冰水机中国总代理. 

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