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    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    干式真空泵 A4X 系列
    阅读数: 6326

    干式真空泵 A4X 系列

    干式真空泵 A4X 系列
    上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业,干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求,特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高,有效降低了企业成本。

    干式真空泵 A4X 系列核心优势:
    耐腐蚀设计,使用寿命长
    通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
    特殊设计,避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
    配置氮气吹扫阀,耐粉尘

    干式真空泵 A4X 系列应用
    半导体:(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
    涂料行业:光伏和 LED

    干式真空泵 A4X 系列技术参数:

    型号

    A 124 H

    A 604 H

    A 1204 H

    A 204 H
    A 204 X

    A 804 H
    A 804 X

    A 1504 H
    A 1504 X

    A 1804 H
    A 1804 X

    抽速 m3/h

    110

    560

    1150

    160

    700

    1200

    1700

    极限真空
    (氮气吹扫阀关闭) hPa

    2X10-2

    2X10-4

    9X10-4

    5X10-2

    2X10-3

    2X10-3

    2X10-3

    极限真空
    (氮气吹扫阀50 SLM) hPa

    5X10-2

    6X10-3

    6X10-3

    2X10-1

    9X10-3

    9X10-3

    9X10-3

    全转速最大进气气流 SLM

    80

    60

    55

    150

    100

    100

    70

    最大功率 KW

    1.5

    1.9

    2.3

    1.8

    2.2

    2.6

    2.6

    最大排气压力hPa

    1200

    1200

    1200

    1200

    1200

    1200

    1200

    进气口 ISO-KF

    DN 50

    DN 100

    DN 160

    DN 50

    DN 100

    DN 160

    DN 160

    重量 kg

    250

    370

    530

    260

    380

    540

    540

     

    干式真空泵 A4X 系列抽速:
    上海伯东干式真空泵 Adixen

    上海伯东 Adixen 干式真空泵


     

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