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    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    NS 离子蚀刻机 20IBE-J
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    NS 离子蚀刻机 20IBE-J

    NS 离子蚀刻机 20IBE-J
    上海伯东日本原装进口适合大规模量产使用的离子刻蚀机

    离子蚀刻 Φ4 inch X 12片

    基片尺寸

    Φ4 inch X 12片
    φ5 inch X 10片
    φ6 inch X 8片

    样品台

    直接冷却,水冷

    离子源

    Φ20cm 考夫曼离子源


    伯东 NS 离子蚀刻机主要优点:
    1. 干式制程的微细加工装置, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用.
    2. 物理蚀刻的特性, 无论使用什么材料都可以用来加工, 所以各种领域都可以被广泛应用.
    3. 配置使用美国考夫曼离子源
    4. 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状.
    5. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻.
    6. 配置公转自转传输机构, 使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面.
    7. 机台设计使用自动化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生产过程.

    NS 离子蚀刻机 20IBE-J 视频:



    NS 离子蚀刻机通氩气 Ar 不同材料的蚀刻速率:
    NS离子蚀刻机
    Hakuto NS 日本原装设计制造
    离子刻蚀机, 提供微米级刻蚀, 满足所有材料的刻蚀, 即使对黄金 AU, 铂 PT, 合金等金属及半导体材料也能提供最优蚀刻. 适用于 MR 薄膜磁头, 自旋电子学, 应力传感器, 射频滤波器, 超导体, 复合半导体材料的刻蚀. NS 蚀刻机可选配置德国 Pfeiffer 涡轮分子泵和美国 KRI 考夫曼离子源!

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