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    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    HVA 矩形板阀 88200 系列
    阅读数: 5583

    HVA 矩形板阀 88200 系列

    28200&88200系列矩形真空板阀

    28200&88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀,可靠使用寿命超过1百万次。HVA闸板阀专用于真空相关系统,起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小,设计紧凑,可靠应用于生产线与过渡腔室(load-lock chamber),过渡腔室(load-lock chamber)与传输系统(handling system),传输系统(handling system)与工艺腔室(process chamber)等等,需要分隔真空压力的地方。

     

    28200&88200系列矩形真空板阀产品特点

    1. 超百万次可靠运行寿命

    2. 不产生粉末,颗粒,防尘设计

    3. 阀动作平稳,振动和冲击小

    4. 标准接口,或按客户要求定制

    5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理

    6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下

     

    28200&88200系列矩形真空板阀技术参数

    连接形式:

    标准或定制法兰

    主体材料:

    304 不锈钢/ AM-350

    公称通径:

    DN32*222 mm-DN50*336

    DN32*222 mm-DN100*1250

    漏率:

    2x10E-9 AtmCC/Sec

    压力范围: 

    1x10E-9 Torr

    烘烤温度:

    《150℃

    适用介质:

    水、蒸汽、空气

    密封形式:

    软密封型

    驱动方式:

    气动

    使用寿命:

    1000000 启闭次数

     

    28200&88200系列矩形真空板阀订货号及2D & 3D 图

    DN

    Model

     

     

    mm

    inch

    Number

    J (Bolted Body)

    K (Clamped Body)

    32 x 220

    1.26 x 8.74

    28212-0109RX_

    2D

    3D

    Quote

    2D

    3D

    Quote

    32 x 332

    1.26 x 13.07

    28212-0113RX_

    2D

    3D

    Quote

    2D

    3D

    Quote

    46 x 236

    1.81 x 9.29

    28212-0209RX_

    2D

    3D

    Quote

    2D

    3D

    Quote

    50 x 336

    1.97 x 13.23

    28212-0213RX_

    2D

    3D

    Quote

    2D

    3D

    Quote

     

    28200&88200系列矩形真空板阀部件图

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