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    上海伯东真空产品事业部搬迁通知

    线性霍尔离子源 eH Linear
    阅读数: 7235

    线性霍尔离子源 eH Linear

    KRI 线性霍尔离子源 eH Linear
    上海伯东代理美国原装进口 KRI  线性离子源使用 eH 400 做为模组, 能应用于宽范围的衬底, 离子源长度高达 1 米, 通过严格调整模组间的距离可以实现最佳的均匀性和离子流. 由于模组是平行放置, 大大简化了气体, 功率和电子三者的分布. KRI 线性离子源使用标准的端部霍尔模组并使设备的需求简化, 一个低成本, 高电流和低能量的离子束可以很好的使用于 web 涂层, in-line 沉积和圆柱旋转溅射系统.

    霍尔离子源 eH 400 尺寸
    尺寸: 直径= 3.7“ 高= 3”
    放电电压 / 电流: 50-300eV / 5A
    操作气体: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有机前体

    KRI 霍尔离子源 eH Linear 技术参数

    型号

    eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5

    供电

    DC magnetic confinement

      - 电压

    40-200V VDC

      - 阳极结构

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    电源控制

    eHL-30010A

    配置

    -

      - 阴极中和器

    Filamentless

      - 离子束发散角度

    > 45° (hwhm)

      - 阳极

    标准或 Grooved

      - 底座

    移动或快接法兰

      - 高度

    10 cm

    宽度

    10 cm

      - 长度

    ~ 100cm

      -工艺气体

    Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others

     

    Model

    eHL 200-3

    eHL 200-5

    Height (nominal)

    2.9” (7.4cm)

    2.9” (7.4cm)

    Width (nominal)

    3.3” (8.4cm)

    3.3” (8.4cm)

    Length (nominal)

    Determined by number of modules & application

    Determined by number of modules & application

    Cathode/Neutralizer

    Yes

    Yes

    Anode module

    Yes

    Yes

    Filamentless

    Yes

    Yes

    Orientation

    Vertical / Horizontal

    Vertical / Horizontal

    Process gases

    Inert, reactive, & organic

    Inert, reactive, & organic

    Power controller

    eH Plasma Power Pack

    eH Plasma Power Pack

     

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